Probe: Tantal
| Schleifmittel | Körnung | Geschwindigkeit [U/min] | Zeit |
|---|---|---|---|
| SiC-Naßschleifpapier | 220 | 200 | bis Probe plan |
| SiC-Naßschleifpapier | 320 - 2400 | 200 | jeweils 10 sec |
Die Einbettung erfolgte in Demotec 15 Plus.
Im Anschluß an den Schleifprozeß mit SiC-Papier erfolgte ein Schleifen der Probe
auf einer Diamantschleifscheibe mit der Körnung 10 µm, etwa 1 Minute.
Danach wurde die Probe lediglich noch auf dem Mikromant®-Tuch
ätzpoliert. Das Tuch zeigte sich als chemisch beständig. Die Polierlösung setzte sich wie folgt zusammen:
40 ml SiO2-Suspension, 40 ml Wasser, 12 ml Wasserstoffperoxid, 4 ml Schwefelsäure und 0,4 ml Flußsäure.
Geätzt wurde die Probe 30 Sekunden in einer 100°C heißen Lösung aus 50 ml Wasser, 50 ml Flußsäure und 10 g Ammoniumbifluorid.
| Unterlage | Poliermittel | Körnung | Probenandruck [N] | Geschwindigkeit [U/min] | Zeit [min] |
|---|---|---|---|---|---|
| Diamant Schleifscheibe | 10 µm | 20 | 150 gegenläufig | 1 | |
| Mikromant® genoppt | Ätzpolier- lösung | 15 | 150 gegenläufig | 15 * | |
| * Zusätzlich 30 Sekunden spülen mit Wasser | |||||